Giới thiệu thiết bị

Kính hiển vi điện tử quét+phơi sáng chùm tia điện tử

Kính quét Zeiss sigma300 được sử dụng để quan sát cấu trúc bề mặt vật liệu của vật liệu dẫn điện ở cấp micron và submicron, với nhiều ứng dụng. Hướng ngưng tụ chủ yếu được sử dụng để kiểm tra kết quả của các mạch vi mô, ống dẫn sóng và các vật liệu khác.

Kính quét được trang bị phần mềm phơi sáng chùm tia điện tử Raith, có thể thực hiện thiết kế và phơi sáng mạch đa chiều, trường ghi tối đa 1000um, độ chính xác tối đa 100nm.

Chỉ số hiệu suất: Độ phân giải: 20nm --- 10kV, Điện áp tăng tốc: 100V-30kV, Độ phóng đại: 50-500K, Máy dò: Máy dò điện tử thứ cấp SE2, Máy dò Inlens và Máy ảnh CCD hồng ngoại.

Ứng dụng chính: Thích hợp cho việc quan sát hình dạng bề mặt của vật liệu dẫn điện và vật liệu không dẫn điện, để có được hình ảnh điện tử thứ cấp của hình dạng bề mặt.

Yêu cầu mẫu: Mẫu khô rắn không bột, bề mặt mẫu sạch sẽ, không có vết dầu, không có từ tính và không dễ bị từ hóa, mẫu không được chứa sắt (Fe), coban (Co), niken (Ni). Chiều cao nhỏ hơn 20mm, đường kính nhỏ hơn 50mm. Các mẫu xốp hoặc dễ dàng phân hủy, vui lòng xử lý khô chân không trước. Mẫu phải có tính dẫn điện. Nếu mẫu không dẫn điện, cần mạ vàng, carbon và xử lý màng dẫn điện khác.

Video tổng hợp các chuyện chim tau titanic dựa trên luật sử dụng hợp lý - Fair use for news reporting (《Kính hiển vi điện tử quét&phơi sáng chùm tia điện tử》