1. Rò rỉ chân không
Hiện tượng: chân không không thể đạt được giá trị thiết lập hoặc giảm liên tục.
Nguyên nhân:
Vòng đệm bị lão hóa, nứt hoặc lắp đặt không đúng cách.
Các kết nối đường ống lỏng lẻo hoặc sự hiện diện của các vết nứt nhỏ.
Có lỗ kim hoặc khuyết tật hàn trong thành buồng chân không.
Giải pháp:
Kiểm tra vòng đệm thường xuyên và thay thế chúng sau mỗi 6-12 tháng.
Sử dụng máy dò rò rỉ phổ khối helium để xác định vị trí rò rỉ và cần kiểm tra lại rò rỉ sau khi sửa chữa.
Kiểm tra áp suất buồng chân không.
2. lớp màng rơi ra
Hiện tượng: Lớp màng sau khi mạ được tách ra khỏi cơ sở hoặc bong ra từng mảnh.
Nguyên nhân:
Ô nhiễm bề mặt cơ sở (dầu bẩn, hơi nước, bụi).
Không nướng đầy đủ trước khi mạ.
Áp lực màng quá lớn.
Giải pháp:
Tăng cường rửa cơ bản.
Lắp đặt nguồn ion để bắn phá sạch sẽ trước khi mạ.
Tối ưu hóa các thông số quy trình.
3. Bơm chân không không thể khởi động
Hiện tượng: Thân bơm không phản ứng sau khi nhấn nút khởi động.
Nguyên nhân:
Mất điện (điện áp không ổn định, đường dây ngắn).
Động cơ bị hỏng hoặc bảo vệ quá nhiệt được kích hoạt.
Ô nhiễm dầu bên trong máy bơm hoặc mức dầu không đủ.
Giải pháp:
Kiểm tra sự ổn định của đường dây điện và điện áp.
Thay thế động cơ hoặc chờ cho đến khi thân máy bơm nguội để khởi động lại.
Thay dầu chân không thường xuyên, giữ mức dầu trên vạch quy mô.
4. Giảm đột ngột chân không
Hiện tượng: Độ chân không trong quá trình vận hành giảm mạnh, không thể duy trì các yêu cầu về quy trình.
Nguyên nhân:
Bơm hỏng rồi.
Ô nhiễm bên trong buồng chân không.
Lưu lượng nước làm mát không đủ dẫn đến thân máy bơm quá nóng.
Giải pháp:
Rửa máy bơm khuếch tán hàng năm và thay dầu đặc biệt.
定期清理真空室。
Kiểm tra mạch nước làm mát để đảm bảo dòng chảy ≥5L/phút.
5. Vật liệu lắng đọng không đồng đều
Hiện tượng: Độ dày lớp màng hoặc các thành phần được phân phối không nhất quán trên cơ sở.
Nguyên nhân:
Sự dịch chuyển nguồn lắng đọng hoặc tốc độ quay của nồi nấu kim loại không ổn định.
Các cơ sở không được cố định hoặc có sự che khuất.
Sự nhiễu loạn từ trường/điện trường gây ra sự lệch dòng chùm.
Giải pháp:
Điều chỉnh vị trí nguồn lắng đọng để đảm bảo căn chỉnh với trung tâm của cơ sở.
Sử dụng kẹp dụng cụ để cố định chất nền và tránh bị che khuất.
Kiểm tra các thông số cuộn dây điện từ và tối ưu hóa quỹ đạo dòng chảy chùm.
6. Kiểm soát độ dày màng thất bại
Hiện tượng: Độ dày màng thực tế và độ lệch giá trị cài đặt vượt quá ± 5%.
Nguyên nhân:
Điều khiển tinh thể (máy đo độ dày) hiệu chỉnh không thành.
Vị trí đầu dò bị lệch hoặc bị ô nhiễm.
Biến động của các thông số quá trình (chẳng hạn như tốc độ bay hơi không ổn định).
Giải pháp:
Mỗi quý hiệu chuẩn máy tinh thể với tấm màng dày tiêu chuẩn.
Làm sạch bề mặt đầu dò và điều chỉnh đến 5-10cm từ cơ sở.
Ổn định điện áp cung cấp để tránh đột biến thông số trong quá trình bay hơi.
7. Chất lượng màng giảm do ô nhiễm khí
Hiện tượng: lớp màng xuất hiện lỗ kim, đốm màu hoặc giảm độ bám dính.
Nguyên nhân:
Buồng chân không không hoàn thiện - xả đáy (hơi nước dư, oxy).
Không khí bị rò rỉ trong quá trình sơn.
Nguyên liệu màng hút ẩm hoặc chứa tạp chất.
Giải pháp:
Hút chân không đến ≤5 × 10 ⁻Pa trước khi sơn và nướng để khử khí.
Kiểm tra tất cả các giao diện niêm phong và thay thế các con dấu lão hóa.
Vật liệu màng trước khi sử dụng cần phải được nung chảy trước khi khử khí trong buồng chân không.
8. Hệ thống sưởi bị lỗi
Hiện tượng: Nhiệt độ cơ bản không thể đạt được giá trị cài đặt hoặc dao động quá mức.
Nguyên nhân:
Yếu tố làm nóng bị hỏng hoặc tiếp xúc kém.
Thông số PID của bộ điều khiển nhiệt độ được đặt không đúng cách.
Vị trí cặp nhiệt điện bị lệch hoặc hư hỏng.
Giải pháp:
Kiểm tra kết nối dây nóng và thay thế phần tử ngắt mạch.
Điều chỉnh lại tham số máy điều khiển nhiệt độ.
Điều chỉnh cặp nhiệt điện đến vị trí trung tâm cơ sở, hiệu chuẩn mỗi năm một lần.
9. Hệ thống điều khiển điện tử bị lỗi
Hiện tượng: bảng điều khiển hoạt động không phản hồi hoặc hiển thị thông số bất thường.
Nguyên nhân:
Bảng điều khiển bị ẩm hoặc bụi tích tụ.
Kết nối cảm biến lỏng lẻo hoặc bị hỏng.
Chương trình phần mềm sụp đổ.
Giải pháp:
Thường xuyên làm sạch tủ điều khiển bằng khí nén khô.
Kiểm tra đường dây cảm biến và thay thế các yếu tố bị lỗi.
Khởi động lại hệ thống hoặc cài đặt lại phần mềm điều khiển.
10. Hệ thống dây tóc/chùm tia bất thường
Hiện tượng: Đầu ra dòng chảy không chùm hoặc biến động dòng chảy chùm lớn.
Nguyên nhân:
Sợi tóc bị cháy hoặc lão hóa.
Bộ giới hạn dòng chùm không về 0 hoặc bộ chiết bị lỗi.
Vỏ bảo vệ điện cực cao áp ngắn mạch.
Giải pháp:
Thay thế dây tóc mới và đảm bảo vị trí trung tâm khi lắp đặt.
Khởi động lại bộ giới hạn dòng chảy bó về 0 sau khi nóng chảy trước.
Kiểm tra cách nhiệt của vỏ bảo vệ và làm sạch các điểm ngắn mạch.