Trong quá trình in thạch bản UV sâu bán dẫn, NH ₃, HCL, HF và các chất gây ô nhiễm phân tử không khí AMC khác có thể được gọi là "kẻ giết người vô hình" về chất lượng sản phẩm, phản ứng của nó với keo quang khuếch đại hóa học sẽ ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu suất của thiết bị bán dẫn, trong khi các phương pháp giám sát truyền thống hoạt động phức tạp, chậm trễ và thiếu chính xác, khó đáp ứng nhu cầu giám sát chính xác thời gian thực của ngành. Trong bối cảnh đó, Duke-Tek đã ra mắt hệ thống giám sát ô nhiễm phân tử không khí Orion 3100S AMC nhằm phá vỡ điểm đau của ngành công nghiệp về công nghệ để cung cấp giải pháp giám sát phòng sạch bán dẫn.

Là một thiết bị giám sát được thiết kế riêng cho ngành công nghiệp bán dẫn, thế mạnh cốt lõi của Hệ thống giám sát ô nhiễm phân tử không khí Orion 3100S AMC bắt nguồn từ công nghệ CEAS (Cavity Enhanced Absorption Spectrum). So với bộ lọc bụi tác động truyền thống, sắc ký ion và các phương pháp đo gián tiếp khác và công nghệ CRDS, hệ thống này không cần phải căn chỉnh chặt chẽ chùm tia laser, lắp đặt dễ dàng và ổn định cơ học mạnh mẽ, có thể nhanh chóng và chính xác bắt các chất gây ô nhiễm cấp dấu vết. Độ chính xác phát hiện của nó đạt đến trình độ công nghiệp, giới hạn phát hiện HCl, HF thấp tới 0,1 ppb, giới hạn phát hiện NH₃ nhỏ hơn 0,1 ppb, nhận ra phép đo thời gian thực cấp sub-ppb, đồng thời tránh hiệu quả sự can thiệp chéo của hơi nước, CO ₂, O₂ và các thành phần khác trong khí quyển, đảm bảo dữ liệu chính xác và đáng tin cậy.

Hệ thống phù hợp đầy đủ với cảnh sản xuất bán dẫn về mặt thiết kế chức năng, có sức cạnh tranh cốt lo@@ ̃i đa chiều. Tốc độ phản hồi cực kỳ nhanh, mỗi kênh chỉ mất 5 giây để hoàn thành việc phát hiện, kết hợp với cấu hình linh hoạt của kênh 1-64, có thể bao phủ khu vực đo rộng và đáp ứng nhu cầu đáp ứng độ nhạy cao của đa khí. Máy tính Linux tích hợp, hỗ trợ lưu trữ dữ liệu khổng lồ và đầu ra đa giao diện, tích hợp 4-6 dữ liệu phân tích thông qua Ethernet, RS485/RS232 hoặc mô-đun tương tự 4-20mA. Phần mềm DUKE HMI độc quyền tích hợp điều khiển lấy mẫu đa điểm, hiển thị đường cong dữ liệu thời gian thực, báo động, phân tích xu hướng lịch sử và các chức năng khác, hỗ trợ điều khiển mạng từ xa hơn, người dùng có thể thực hiện thao tác quyền đa cấp với sự trợ giúp của trình duyệt tại bất kỳ địa điểm kết nối mạng nào và cũng có thể kết nối trụ sở chính hoặc nhà cung cấp dịch vụ của Duke để chẩn đoán từ xa.

Ngoài ra, hệ thống giám sát ô nhiễm phân tử không khí Orion 3100S AMC rất tiện lợi và tiết kiệm. Sử dụng tủ di động bằng thép không gỉ 310, cắm và chạy, triển khai phòng sạch có thể được hoàn thành trong vài phút; Không có thuốc thử, nguồn phóng xạ và các vật tư tiêu hao khác, thiết bị điện tử trạng thái rắn không có bộ phận di chuyển, chi phí bảo trì rất thấp và thời gian bảo trì miễn phí dài. Hệ thống cũng có những ưu điểm như báo động lập trình độc lập, thiết lập rơle, dữ liệu mất điện không bị mất, lấy mẫu đường ống siêu dài 80 mét, giao thức truyền thông mở thuận tiện hơn cho việc phát triển và tích hợp thứ cấp, phù hợp với yêu cầu sản xuất khắt khe của ngành công nghiệp bán dẫn.

Sự ra đời của hệ thống này không chỉ có thể cải thiện hiệu quả tính nhất quán trở kháng của thiết bị bán dẫn, kéo dài tuổi thọ của bộ lọc, giảm thời gian ngừng sản xuất, mà còn thúc đẩy nâng cấp mức sản xuất sạch của ngành công nghiệp bằng khoa học và công nghệ. Với nhiều năm kinh nghiệm trong ngành bán dẫn, Ductec cung cấp sự đảm bảo giám sát AMC đáng tin cậy cho các doanh nghiệp bán dẫn với công nghệ và dịch vụ chu đáo.