-
Thông tin E-mail
huijuan_sun@bct-tech.com
-
Điện thoại
18610719775
-
Địa chỉ
Tòa nhà 1, Nhà số 6, Đường An Khánh, Khu B Công nghiệp Hàng không, Quận Shunyi, Bắc Kinh
Giải pháp
Beijing Boside Technology Co., Ltd
Tổng quan chương trình
Được thúc đẩy bởi trí tuệ nhân tạo và nhu cầu tính toán hiệu quả cao, dưới sự phát triển của vật liệu bán dẫn thế hệ thứ tư và công nghệ lõi, chiều rộng dòng chip đã nhanh chóng chuyển từ 70nm sang kỷ nguyên dưới 7nm. Tầm quan trọng của việc phát hiện các chất gây ô nhiễm phân tử dạng khí (AMC) trong quá trình sản xuất dưới 30nm đã tăng lên một tầm cao rất quan trọng.
Sự chính xác hóa vi lượng giám sát của AMC, toàn diện hóa giám sát, phân tích tự động dữ liệu lớn, sự ra đời của khái niệm kiểm soát thông minh AI, đóng vai trò quan trọng trong việc giảm tác động của AMC.
Công ty TNHH Công nghệ Boside Bắc Kinh độc lập nghiên cứu phát triển và sản xuất sê-ri BCT-AMC, hệ thống giám sát môi trường quy trình bán dẫn, bao gồm giám sát trực tuyến, phân tích phòng thí nghiệm, phân tích nguồn gốc tại bàn máy và nhiều kịch bản khác, phân tích định lượng chính xác hơn của các loài hữu cơ, tự động hóa và tích hợp cao của quá trình phân tích, kết hợp với cơ sở dữ liệu ô nhiễm AMC chuyên dụng và thư viện phương án xử lý, dưới sự bổ sung của công nghệ AI, thực sự giải quyết các vấn đề thiết thực của bộ phận quản lý sản phẩm và bộ phận kiểm soát ô nhiễm vi mô.
Cảnh điển hình
Thiết bị vớt váng dầu mỡ cho xử lý nước thải -PetroXtractor - Well Oil Skimmer (
Giám sát trực tuyến điểm giám sát sản xuất:
• Sử dụng ống lấy mẫu PFA siêu sạch để bố trí khu vực nhà máy, phạm vi giám sát lên đến 35.000m2~75.000m2
• Tự động lấy mẫu, cô đặc, phân tích GC-MS, lưu trữ đám mây, AI tự động tạo báo cáo phát hiện với chức năng báo động siêu ngưỡng
• Giám sát tự động hóa lịch trình 7 × 24 giờ
• Toàn bộ quá trình phủ trơ toàn bộ thành phần, tránh dư lượng và hấp phụ
• Hệ thống bẫy đặc biệt và hệ thống tập trung, nâng cao đáng kể đường phát hiện, hình dạng đỉnh sắc nét hơn
Thiết bị vớt váng dầu mỡ cho xử lý nước thải -PetroXtractor - Well Oil Skimmer (
Phân tích phòng thí nghiệm lấy mẫu thủ công:
• Hệ thống được sử dụng trong phòng thí nghiệm, dựa trên khả năng bắt mạnh mẽ, khả năng loại bỏ tạp chất mạnh mẽ, khả năng chống hấp phụ mạnh mẽ, độ chính xác cao của mẫu, đặc biệt cho mỗi đường dẫn không khí, không có điểm lạnh trong toàn bộ quá trình, làm sạch rất sạch và các tính năng khác, làm việc cùng nhau để có được giới hạn phát hiện thấp hơn
• Định lượng phân tích thành phần chưa biết: hệ thống có thể thực hiện phân tích đầy đủ các chất trên mẫu
• Gói phương pháp phát hiện chất AMC (VOC) được phát triển đặc biệt cho các doanh nghiệp bán dẫn
• Phát hiện lão hóa mạnh: nhanh chóng định lượng các chất gây ô nhiễm, kịp thời phát hiện nguồn ô nhiễm AMC (VOC)
Lò sưởi thạch anh wafer, mẫu dễ bay hơi sưởi ấm:
• Gói phương pháp phát hiện chất AMC (VOC) được phát triển đặc biệt cho các doanh nghiệp bán dẫn
• Phát hiện lão hóa mạnh: nhanh chóng định lượng các chất gây ô nhiễm, kịp thời phát hiện nguồn ô nhiễm AMC (VOC)
B5-03=giá trị thông số Ki, (cài 3)
Bàn làm việc - Phân tích nguồn ô nhiễm:
• Phân tích nhanh
Mô hình di chuyển đơn khối phổ, dụng cụ không qua cột sắc phổ trực tiếp đi vào khối phổ, phân tích cấp giây, thời gian thực đưa ra dữ liệu.
• Độ nhạy cao
Mục tiêu truy tìm nguồn gốc, độ nhạy cao hơn: chế độ phổ đơn, phản ứng cấp giây, thời gian thực hiển thị động tình hình ô nhiễm, khi cần thiết có thể sàng lọc ion sử dụng chế độ SIM để thực hiện mục tiêu đi lại.
Công nghệ lấy mẫu màng cho phép làm giàu thứ cấp trước khi mẫu đi vào phổ khối, cải thiện độ nhạy
• Nguồn gốc chính xác
Mô hình đi biển hoàn toàn mới, đi sâu vào phân xưởng, nhắm thẳng vào nguồn.
Chất lượng của thiết bị đi bộ truyền thống nhẹ hơn và chống động đất mạnh hơn, trên cơ sở đi bộ truyền thống có thể đi sâu hơn vào phân xưởng, tìm nguồn chính xác đến vị trí công nghệ sản xuất ô nhiễm, giúp các doanh nghiệp thực hiện quản lý điểm ô nhiễm.
• Kết quả chính xác
Chế độ làm việc kép: Chế độ đi bộ+Chế độ phân tích điểm GC-MS
Sử dụng nguồn 70 eV EI+phổ khối 4 giai đoạn để định lượng định tính, ion hóa hoàn toàn VOC trong không khí, dựa vào thư viện phổ NIST tiêu chuẩn, định tính chính xác; Quốc tiêu gia trì, kết quả có thể so sánh với phòng thí nghiệm.
• Khả năng ứng dụng môi trường mạnh mẽ
Hệ thống chân không bơm phi cơ, khả năng ứng dụng môi trường mạnh hơn
Từ bỏ các thành phần quay tốc độ cao, sử dụng bơm chân không phi cơ học để giải quyết các vấn đề như không thể phát hiện hoạt động trong rung động lớn đa chiều.
Kết quả dữ liệu và phát hiện Spectrum
Khu vực nhà máy sản xuất chất bán dẫn và môi trường thiết bị AMC giải pháp giám sát đã được giới thiệu, để biết thêm thông tin, xin vui lòng liên hệ với chúng tôi!