Trong quá trình sản xuất chip quang điện,Loại trượt PECVD(Plasma tăng cường lắng đọng khí hóa học) Thiết bị thực hiện nhiệm vụ cốt lõi của việc chuẩn bị màng giảm phản xạ và lớp thụ động, hiệu suất của nó trực tiếp quyết định hiệu quả chuyển đổi của tấm pin và năng lực dây chuyền sản xuất. Với sự mở rộng quy mô của ngành công nghiệp quang điện và tăng tốc lặp đi lặp lại của công nghệ, khi các doanh nghiệp mua PECVD trượt, họ cần phải lấy nhu cầu năng lực làm điểm neo, kiểm soát chính xác tốc độ lắng đọng khoang đơn, kích thước tương thích của tấm cơ sở, tiêu thụ năng lượng và các chỉ số chính khác, để đạt được hiệu suất thiết bị phù hợp với nhu cầu sản xuất, để giảm hiệu quả xây dựng cơ sở thiết bị vững chắc.

Tỷ lệ lắng đọng khoang đơn là chỉ số cốt lõi xác định giới hạn công suất và cần phải phù hợp hoàn toàn với nhịp đập của dây chuyền sản xuất. Tỷ lệ lắng đọng liên quan trực tiếp đến khối lượng xử lý chip cơ sở trong một đơn vị thời gian, chẳng hạn như trong sản xuất pin PERC, nếu tỷ lệ lắng đọng một khoang đạt 120 chiếc/giờ, thiết bị được thiết kế với 8 buồng có thể đạt được công suất xử lý gần 1000 chiếc/giờ, đáp ứng nhu cầu công suất GW. Khi mua cần lưu ý rằng tốc độ lắng đọng không phải là càng cao càng tốt, cần phải đạt được sự cân bằng với chất lượng của lớp màng - một số thiết bị buộc phải tăng tốc độ bằng cách nâng công suất, có thể dẫn đến độ lệch đồng nhất của lớp màng, thay vào đó ảnh hưởng đến hiệu quả chuyển đổi pin. Nên ưu tiên lựa chọn thiết bị có phạm vi điều chỉnh tốc độ lắng đọng rộng (50-150 miếng/giờ), vừa phù hợp với nhu cầu công suất cao nhất, vừa linh hoạt điều chỉnh để đảm bảo chất lượng màng của sản xuất thử nghiệm.

Các kích thước tương thích với mảnh cơ sở quyết định tính tiến bộ kỹ thuật của thiết bị và tính phù hợp với dây chuyền sản xuất, cần đặt chân vào hiện nay, chiếu cố tương lai. Kích thước tấm nền PV chính thống hiện tại đã được nâng cấp từ 166mm đến 182mm và 210mm, tấm nền kích thước lớn có thể làm giảm chi phí điện đơn vị, nhưng yêu cầu cao hơn về cấu trúc buồng của thiết bị và độ chính xác của đường trượt. Khi mua sắm cần xác nhận thiết bị có thể tương thích với kích thước dòng chính hiện tại và kích thước nâng cấp thế hệ 1 - 2 trong tương lai, tránh bị đào thải trước thời hạn do sự lặp đi lặp lại của tấm nền. Đồng thời, tập trung vào độ chính xác định vị của việc truyền tải tấm cơ sở (± 0,5mm trong vòng), định vị chính xác có thể làm giảm tỷ lệ mảnh vỡ trong quá trình truyền tải, đặc biệt là trong sản xuất tấm cơ sở kích thước lớn (210mm), có thể kiểm soát tỷ lệ mảnh vỡ dưới 0,1%, giảm tổn thất vật liệu.

Tiêu thụ năng lượng và chi phí vận hành là những yếu tố quan trọng ảnh hưởng đến hiệu quả sản xuất, đòi hỏi phải tính toán chi phí vòng đời đầy đủ. Tiêu thụ năng lượng của PECVD loại trượt chủ yếu tập trung vào nguồn điện tần số vô tuyến, hệ thống sưởi ấm và bơm chân không. Thiết bị chất lượng cao có thể giảm mức tiêu thụ năng lượng đơn vị xuống dưới 0,8kWh/viên bằng cách tối ưu hóa cấu trúc cách nhiệt buồng và hiệu quả cung cấp điện, tiết kiệm 15% -20% chi phí điện so với thiết bị truyền thống. Về vận hành và bảo trì, cần chú ý đến chu kỳ thay thế và chi phí của các bộ phận dễ bị tổn thương - chẳng hạn như tuổi thọ của tấm điện cực không được thấp hơn 10.000 giờ, chu kỳ thay thế dầu bơm chân không kéo dài đến hơn 6 tháng, đồng thời thiết bị cần có chức năng cảnh báo sự cố, thông qua giám sát thời gian thực áp suất khoang, công suất tần số vô tuyến và các thông số khác, dự đoán sự cố trước và đẩy nhắc nhở bảo trì, giảm thời gian ngừng hoạt động không theo kế hoạch.

Ngoài ra, khả năng tích hợp tự động hóa và khả năng kiểm soát chất lượng lớp màng cũng không thể bỏ qua. Thiết bị cần hỗ trợ kết nối liền mạch với thiết bị tự động hóa phía trước và phía sau (chẳng hạn như máy cho ăn tự động, thiết bị phát hiện), để thực hiện tự động hóa toàn bộ quá trình từ đầu vào tấm cơ sở đến phát hiện lớp màng, giảm tổn thất hiệu quả và lỗi do can thiệp của con người. Về kiểm soát chất lượng lớp màng, thiết bị được trang bị hệ thống giám sát độ dày màng trực tuyến nên được lựa chọn, có thể phản hồi độ dày lớp màng (độ chính xác ± 2nm) và chỉ số khúc xạ trong thời gian thực, đảm bảo tính nhất quán của hiệu suất lớp màng trong sản xuất hàng loạt, đảm bảo sự ổn định của hiệu quả chuyển đổi pin.

Logic cốt lõi của việc mua sắm PECVD kiểu trượt cho các doanh nghiệp PV là ba mục tiêu để đạt được "khả năng phù hợp với công suất, kiểm soát chi phí và hướng tới tương lai công nghệ". Từ tỷ lệ lắng đọng khoang đơn phù hợp với nhịp sản xuất, đến cân nhắc tương thích về kích thước tấm cơ sở, đến kiểm soát chính xác tiêu thụ năng lượng và chi phí vận hành và bảo trì, việc kiểm soát từng chỉ số ảnh hưởng trực tiếp đến lợi ích sản xuất. Thông qua việc đánh giá khoa học các chỉ số chính và lựa chọn thiết bị phù hợp với nhu cầu năng lực sản xuất và lộ trình công nghệ của riêng mình, PECVD trượt có thể trở thành sự hỗ trợ mạnh mẽ cho các doanh nghiệp PV để nâng cao năng lực cạnh tranh cốt lõi.