Trong phân tích VOC của không khí xung quanh, hệ thống kết hợp khí chất khử nhiệt (TD-GC/MSD) là một phương pháp phát hiện thường được sử dụng trong các phòng thí nghiệm giám sát môi trường và phòng sạch của ngành công nghiệp bán dẫn. Đối với việc thu thập mẫu, thường có hai phương pháp phổ biến sau đây. Đầu tiên là lấy mẫu và làm giàu trước bằng cách sử dụng ống hấp phụ, sau đó được phân tích thông qua hệ thống TD-GC/MSD. Phương pháp HJ 734-2014 [2] quy định việc sử dụng ống hấp phụ và TD-GC/MSD để phát hiện 24 VOC. Markes International đã xuất bản một bản tóm tắt ứng dụng dựa trên phương pháp HJ734, trong đó mô tả kết quả hiệu suất tuyệt vời thu được bằng cách sử dụng phương pháp lấy mẫu ống hấp phụ [3]. Một phương pháp khác là sử dụng bể lấy mẫu được hút chân không trước để lấy mẫu và sử dụng ngưng tụ nhiệt độ thấp để làm giàu trước. Tiêu chuẩn HJ759-20234 mô tả chi tiết phương pháp xác định 65 VOC trong không khí xung quanh bằng cách sử dụng lấy mẫu bể.

Nghiên cứu này đề cập đến phương pháp HJ759-2023, trong đó 65 VOC được phân tích định tính và định lượng bằng cách lấy mẫu bể, kết quả thu được là tuyến tính tuyệt vời, độ chính xác cao và khả năng tái tạo tuyệt vời. Điều này phản ánh đầy đủ tính trơ, độ nhạy cao và độ bền của toàn bộ hệ thống TD-GC/MSD.